1. (2019九上·唐河期末) 中兴缺“芯”事件震惊国人。芯片的主要成分是纯度极高的硅。高纯硅的制备以石英砂（主要成分是二氧化硅）为原料，生产过程示意图如下：

1. （1） 上述四个步骤中属于物理变化的是。
3. （2） 物质M是该生产过程中可循环使用的物质，写出步骤4反应的化学方程式。