1. (2019·海淀模拟) 高纯度硅（Si）是集成电路核心电子元器件的主要材料。工业上冶炼粗硅（Si和杂质）制取高纯度硅的简易流程如图所示。

1. （1） ①中反应为 ，其中化合价发生改变的元素是。
3. （2） ②中发生了化合反应，请写出该反应的化学方程式：。
5. （3） ④中反应为 ，若要制得28t高纯度硅，理论上需要的氢气质量为t。