1. (2019八下·永康期末) 高纯硅是半导体、集成电路、光伏电池的重要材料，是信息产业最基础的原材料之一，制备高纯硅的主要生产过程如下：

请回答：

1. （1） 一个SiHCl₃分子中含有氯原子的个数为；
3. （2） 制备高纯硅的反应原理：SiHCl₃（纯）+H₂ Si+3X，则X的化学式为。