1. (2015·丽水) 高纯硅是信息产业最基础的原材料，制备高纯硅的主要生产过程如下：请回答：

1. （1） 一个SiHCl₃分子中含有氯原子的个数为；
3. （2） 制备高纯硅的反应原理：SiHCl₃（纯）＋H₂ Si＋3X，则X的化学式为。