1. (2016·内江)

目前制备高纯硅最广泛采用的方法为三氯硅烷还原法，其化学反应原理为：①SiO₂+2C Si+2X ②Si+3HCl HSiCl+H ③HSiCl+H═Si+3HCl

1. （1） 反应①中X的化学式为．

3. （2） 三氯硅烷（HSiCl₃）中硅元素的化合价为．