发生的反应为:
② SiO2+2C Si+2CO↑
②Si+3HCl SiHCl3+H2↑
③SiHCl3+H2 Si+3HCl
整个制备过程必须达到无水无氧.在H2还原SiHCl3过程中若混入O2 , 可能引起的后果是.
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