1. (2020九上·六安期末) 石英的主要成分为二氧化硅，它是玻璃工业和陶瓷工业的原料，冶金工业的助熔剂。硅是太阳能电池和电脑芯片不可缺少的材料。生产高纯硅的流程示意困如下：

1. （1） 制备粗硅的化学方程式为： ，则x的化学式为。
3. （2） 整个制备过程必须达到无水无氧。若在H₂还原SiHCl₃ ， 过程中混入O₂ ， 可能引起的后果是。
5. （3） 为了达到绿色化学和节约资源的目的。物质A需要循环使用，A的化学式是。