硅是重要的半导体材料。X+H2 3HCl+Si（高纯）是工业制硅流程中的一个化学反应方程式，则X为（）

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1. (2020九上·清苑期末) 硅是重要的半导体材料。X+H₂ $\text{[math]}$ 3HCl+Si（高纯）是工业制硅流程中的一个化学反应方程式，则X为（）

A . SiCl B . SiCl₃ C . SiHCl₃ D . SiH₂Cl₃

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