1. (2021九下·江西月考) 我国某公司推出了5G商用芯片，制造芯片要用到高纯硅，工业上利用石英砂(主要为二氧化硅)制备高纯硅的工艺流程图如下所示：

1. （1） HSiCl₃中Cl元素的化合价为-1，则 HSiCl₃中Si元素的化合价为。
3. （2） 反应①的化学方程式为，该反应属于(填基本反应类型)反应。
5. （3） 生产流程中可循环利用的物质是(填化学式)。