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  • 1. (2021·芜湖模拟) 光刻机是生产大规模集成电路(芯片)的核心设备,“浸没式光刻”是一种通过在光刻胶和投影物镜之间加入浸没液体,从而减小曝光波长提高分辨率的技术。如图所示,若浸没液体的折射率为1.40,当不加液体时光刻胶的曝光波长为193nm;加上液体后,光在液体中的传播速度为m/s,波长变为nm。(光在真空中的传播速度 ,计算结果均保留三位有效数字)

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