1. (2021·贵港) “太阳能光伏发电”能有效推进“碳中和”，发展“低碳经济”，其关键的材料是高纯硅。以下是高纯硅的简易生产流程。

请回答：

1. （1） 石英砂的主要成分是。四氯化硅（SiCl₄）中硅元素的化合价为。
3. （2） “精馏”是蒸馏的一种，其原理是利用混合物各成分的不同，将物质分离出来。
5. （3） 上述流程中可循环使用的物质是。
7. （4） 流程⑤中发生反应的化学方程式为。