1. (2020九上·宿松期末) 中国芯彰显中国“智”造，芯片的基材主要是高纯硅（Si），工业上生产高纯硅的流程如下，请回答下列问题：

1. （1） 二氧化硅中硅元素化合价为。
3. （2） 反应①的化学方程式为，该反应体现出焦炭的性。
5. （3） 该流程中可循环利用的物质是（填物质名称，写一种即可）。