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高中物理
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综合题
1.
(2022高三上·丹东月考)
目前,我国正在集中力量开发芯片技术,而离子注入是其中一道重要的工序。如图所示是离子注入工作原理示意图,离子经加速后沿水平方向进入速度选择器,然后通过磁分析器,选择出特定比荷的离子,经偏转系统后注入处在水平面内的晶圆(硅片)。速度选择器和磁分析器中的匀强磁场的磁感应强度大小均为B,方向均垂直纸面向外;速度选择器和偏转系统中的匀强电场场强大小均为E,方向分别为竖直向上和垂直纸面向外。磁分析器截面是内外半径分别为R
1
和R
2
的四分之一圆环,其两端中心位置M和N处各有一个小孔;偏转系统中电场的分布区域是一边长为L的正方体,其底面与晶圆所在水平面平行。当偏转系统不加电场时,离子恰好竖直注入到晶圆上的O点。整个系统置于真空中,不计离子重力。求:
(1) 判断离子的电性和离子通过速度选择器的速度大小v;
(2) 磁分析器选择出来离子的比荷
;
(3) 偏转系统加电场时,离子从偏转系统底面飞出,若晶圆所在的水平面是半径为
的圆面,为了使偏转粒子能打到晶圆的水平面上,晶圆平面到偏转系统的距离满足什么条件?
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辽宁省丹东市五校2022届高三上学期物理12月联考试卷