1. (2021·黔西) 高纯硅是制造芯片的基础材料，工业上制取高纯硅过程中的一个反应的微观示意图如下：

回答下列问题：

1. （1） 该反应的化学方程式为。
3. （2） 在化学反应前后，可能发生了改变的是（填选项序号）。

   a.原子数目           b.分子数目             c.元素种类 d.物质的总质量