1. (2022七下·乐清期末) 芯片是电子设备的心脏和大脑。光刻机是制造芯片的核心装备。某种光刻机的原理如图所示。其工作原理是先在硅片表面涂一层光刻胶，再用光源光束透过事先设计好集成电路图的镂空掩膜，经过凸透镜照射下面的硅片，被光线照射到的光刻胶发生反应，硅片上就会出现相应的电路图案。

1. （1） 光束中的紫外线属于（选填“可见光”或“不可见光”）。
3. （2） 人看到硅片上的电路图案，视觉的形成部位在。
5. （3） 某款光刻机选用凸透镜的焦距为f，会使硅片上最终出现清晰缩小的电路图案，则镂空掩膜和凸透镜间的距离u与f的关系需满足。