1. (2022·温江模拟) 光伏发电能有效推进“碳中和”，发展“低碳经济”，其关键的材料是高纯硅。如图是从粗硅到高纯硅的简易工艺流程，回答下列问题。

资料：单质硅与单质碳化学性质相似。

1. （1） SiHCl₃中硅元素的化合价是。
3. （2） 整个制备过程必须无水无氧。若混入O₂ ， 可能引起的后果是（写一种）。
5. （3） “精馏”是蒸馏的一种方式，原理是利用混合物各成分（填“熔点”或“沸点”）不同。
7. （4） 粗硅中含有少量的氧化铝杂质，可用稀硫酸除去，发生的化学方程式为，基本反应类型是。
9. （5） SiHCl₃与H₂高温下生成高纯硅和另一种化合物，其化学式为。