1. (2022·盘龙模拟) “5G”改变生活，中国芯彰显中国“智”造。芯片的基材主要是高纯硅，如图是一种制备高纯硅的工艺流程图：

1. （1） 操作I：操作名称是。
3. （2） 反应Ⅱ：发生反应的化学方程式为。该反应要在无氧气的环境中进行，原因是（答出一种即可）。
5. （3） 上述已知生产流程中，可以循环利用的物质是（填化学式）。