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  • 1. (2021九上·嘉兴期末) 芯片主要以高纯度的单质硅(Si)为原料制成,在半导体硅元件生产中,常用氢氟酸(HF) 来清除硅表面的氧化膜,反应原理可表示为SiO2+6HF=H2SiF6+2X。已知硅元素在反应前后化合价不变。下列说法错误的是( )

    A . 生成物X属于非金属氧化物 B . 单质硅是半导体材料,也属于非金属单质 C . 单质硅表面氧化膜的形成属于氧化反应 D . 氢氟酸与硅表面的氧化膜的反应属于置换反应

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