1. (2023九上·夏邑期末) 硅是信息技术应用的关键材料，徐州已成为单质硅的重要生产基地。工业上常用石英砂(主要成分为SiO₂)为原料制得单质硅，主要流程如图所示：

1. （1） 过程①产生的一种气体，可用作燃料，写出该气体的另一种用途：。
3. （2） 过程②发生化合反应，参加反应的单质X的化学式为。
5. （3） 过程③发生置换反应，反应的化学方程式为。