1. (2023九上·楚雄期末) “太阳能光伏发电”能有效推进“碳中和”。发展“低碳经济”，其关键的材料是高纯硅。下图为高纯硅的简易生产流程示意图。

1. （1） “精馏”是蒸馏的一种，其原理是利用混合物中各成分的不同，将物质分离出来。
3. （2） 为了达到资源综合利用的目的，上述生产流程中可循环利用的一种物质是。
5. （3） 流程⑤中发生反应的化学方程式为。