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  • 1. (2023高二下·黄山月考) 半导体掺杂是集成电路生产中最基础的工作,其简化模型如图所示,控制器主要由平行金属板电容器和相互靠近的两个电磁线圈构成(忽略边缘效应)。加上电压后,两金属板A、B间形成匀强电场;通电流后,两电磁线圈间形成圆柱形匀强磁场:匀强电场与匀强磁场(柱形)的中轴线垂直相交,磁场横截面圆的半径为 , 极板A、B长为 , 间距为d。标靶是圆形的薄单晶硅晶圆,晶圆面与匀强电场的中轴线垂直,与匀强电场中心和柱形匀强磁场中轴线的距离分别为。大量电量为 , 质量为m的离子,以速度沿电场的中轴线飞入电场;当 , 且电磁线圈中的电流也为零时,离子恰好打到晶圆中心O点.不计离子所受重力。求:

    1. (1) 当 , 且电磁线圈中的电流为零时,离子离开金属板后到达晶圆所在平面的时间以及离子刚好离开金属板时的竖直偏移量的大小;
    2. (2) 当时,要使离子都能打到半径为的晶圆上,线圈之间的匀强磁场的磁感应强度B的大小应满足的关系。

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