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  • 1. (2023·舟山模拟) 中国芯片蚀刻技术国 际领先。用NF3蚀刻硅芯片,产物均为气体,在蚀刻物表面不留任何 残留物。该反应微观过程如图所示,下列说法正确的是

    A . 物质丙由硅原子和氟原子直接构成 B . 物质丁在空气中含量很少 C . 该反应中,分子种类没有变化 D . 反应生成的丙和丁分子个数之比为3:2

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