1. (2023·通州模拟) 硅(Si)是制造半导体芯片的原料。利用稻壳制备纳米硅的主要工艺流程如下。

1. （1） 上述流程所涉及到的物质中，属于氧化物的是。
3. （2） 还原炉中，发生反应的化学方程式为。
5. （3） 酸浸槽中，加入盐酸的目的是。