1. (2023·路桥模拟) 芯片制造是半导体工业中重要的一环，如图中铜板、硅、塑料板、氢氟酸(HF)都是芯片制造工业中的常用材料，请按要求回答下列问题：

1. （1） 如图半导体工业材料中，属于有机材料的是。
3. （2） 芯片制造过程中的蚀刻要用到氢氟酸(HF)，HF中F元素的化合价，它也能蚀刻玻璃，其中一个反应的化学方程式是：CaSiO₃+6HF=CaF₂+SiF₄↑+3X，X的化学式为