1. (2023八上·江北期中) 芯片制造是半导体工业中重要的一环，如图中铜板、硅、塑料板、'氢氟酸（HF）都是芯片制造工业中的常用材料，请按要求回答下列问题：

1. （1） 如图半导体工业材料中，属于有机材料的是。
3. （2） 芯片制造过程中的蚀刻要用到氢氟酸（HF），它也能蚀刻玻璃，其中有一个化学反应的化学方程式是：CaSiO₃+6HF===X+SiF₄↑+3H₂O，则X的化学式为。