1. (2023九上·北京市月考) 硅(SiO₂)是制造芯片的基体材料，工业上用石英砂(主要成分是SiO₂)制取硅的主要流程如下：

已知：石英砂和粗硅中的杂质均不参与反应。

1. （1） ⅰ中反应为SiO₂+2C2CO↑+Si，反应前后化合价发生变化的元素有。
3. （2） ⅱ中发生的反应属于化合反应，相应的化学方程式为。
5. （3） ⅲ中的生成物除了有Si，还有其他物质的原因是。