1. (2024九上·合肥期末) 中国“芯”彰显中国“智”造，芯片的基材主要是高纯硅。利用石英砂（主要成分为二氧化硅）生产高纯硅的流程图如下（整个制备过程必须达到无水、无氧气）。

查阅资料：“精馏”是蒸馏的一种，其原理是利用混合物各成分的沸点不同，将物质分离出来。

1. （1） 石英砂属于（填物质类别），流程中将焦炭粉碎的目的是。
3. （2） 写出步骤①反应的化学方程式。
5. （3） 步骤⑤中若混入O₂ ， 可能引起的后果是。
7. （4） 为了使资源综合利用，上述流程中可循环使用的物质是（填一种即可）。