物质
Si
SiCl4
SiHCl3
SiH2Cl2
SiH3Cl
HCl
SiH4
熔点/℃
1410
-70.4
-126.5
-122
-118
-114.2
-185
沸点/℃
2355
57.6
31.8
8.2
-30.4
-84.9
-111.9
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