1. (2018·江西模拟) 硅是一种重要的半导体材料，应用范围广。三氯硅烷(SiHCl₃)还原法是当前制备高纯硅的主要方法，生产过程如图所示：

1. （1） 写出上述流程中一种氧化物的化学式：；
3. （2） 上述流程中最后一步反应的化学方程式为，该反应属于(填基本反应类型)反应；
5. （3） 如果还原SiHCl₃过程中混入O₂ ， 可能引起的后果是；
7. （4） 该流程中可以循环利用的物质的化学式是。