1. 晶体硅在电子工业中有广泛的应用。工业上生产高纯硅的流程如下：

请回答下列问题：

1. （1） 二氧化硅与焦炭反应的另一种产物是一氧化碳，该反应的化学方程式为。
3. （2） 蒸馏属于(填“物理”或“化学”)变化。
5. （3） 完成由下列纯SiHCl₃制取高纯硅的化学方程式：

   SiHCl₃＋H₂ Si＋。