1. (2017·湖南模拟) 光纤通讯是光导纤维传送信号的一种通讯手段，合成光导纤维及氮化硅（一种无机涂层）的工艺流程如图：

回答下列问题：

1. （1） 反应I的化学方程式为，氧化剂为（填化学式）．
3. （2） 经反应II所得的四氯化硅粗品中所含的物质如表：

   组分名称	SiCl4	SiHCl3	SiH2Cl2	HCl	BCl3	PCl3
   质量分数	0.545	0.405	0.0462	0.0003	0.00193	0.00157
   沸点/℃	57.6	31.8	8.2	﹣85	12.5	75.5

   图中“操作X”的名称为；PCl₃的电子式为．

5. （3） 反应III和IV中尾气的用途为；反应IV的化学方程式为．