1. (2017·北京模拟) 高纯硅是信息产业最基础的原材料，制备高纯硅的主要生产过程如下：

【资料】①石英砂的主要成分是SiO₂②生产过程中涉及到的反应均为置换反应

1. （1） SiO₂中Si的化合价是．
3. （2） 从SiHCl₃（纯）得到高纯硅的化学方程式是．
5. （3） 生产过程中可循环使用的物质是．