1. (2020高一上·钦州期末) 硅是无机非金属材料的主角，硅的氧化物和硅酸盐约占地壳质量的90%以上。

1. （1） 可用于制作计算机芯片和太阳能电池的是(填化学式)。
3. （2） 工艺师常用氢氟酸来雕刻玻璃，该反应的化学方程式为。
5. （3） 高纯度单晶硅可以按下列方法制备：

   (粗) (纯)

   i.步骤①的化学方程式为。

   ii.步骤②的产物中，SiHCl₃大约占85%，还有SiCl₄、SiH₂Cl₂、SiH₃Cl等，有关物质的沸点数据如下表，提纯SiHCl₃的主要工艺操作依次是沉降、冷凝和。

   物质	Si	SiCl4	SiHCl3	SiH2Cl2	SiH3Cl	HCl	SiH4
   沸点/℃	2355	57.6	31.8	8.2	-30.4	-84.9	-111.9