1. (2023九上·无为期末) 硅（Si）是一种重要的半导体材料，广泛应用于电子工业的各个领域，三氯甲硅烷（SiHCl₃）还原法是当前制备高纯硅的主要方法，生产流程示意图如下：

1. （1） 硅原子的原子结构示意图为。
3. （2） 由石英石（SiO₂）制备粗硅的化学方程式为。
5. （3） 由三氯甲硅烷（SiHCl₃）转变为纯硅时，反应要在无氧环境中进行的原因是。
7. （4） 该生产工艺中可以循环使用的物质是。