高纯度的单晶硅生产方法主要为： SiO2 粗硅 Si（纯）单晶硅制得的粗硅中含有的杂质主要为（写化学式）请分别写出上述流程中①、③的化学方程式：①③．

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1. 高纯度的单晶硅生产方法主要为：
SiO₂ $\text{[math]}$ 粗硅 $\text{[math]}$ Si（纯） $\text{[math]}$ 单晶硅
制得的粗硅中含有的杂质主要为（写化学式）
请分别写出上述流程中①、③的化学方程式：①③．

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