完成下列填空:
工业上用化学气相沉积法制备氮化硅,其反应如下:3SiCl4(g)+2N2(g)+6H2(g)Si3N4(s)+12HCl(g)+Q(Q>0)
a.增加Si3N4的量,平衡向左移动 b.减小HCl的量,平衡向左移动
c.增大压强,平衡常数K减小 d.降低温度,平衡常数K增大
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