1. (2018九上·顺义期末) Si是重要的半导体材料，半导体工业中有一句行话“从沙滩到用户”，指的是利用砂子（主要成分SiO₂）制取高纯度的Si，其生产流程如下：

 

1. （1） 步骤②发生反应的反应类型为。
3. （2） 步骤①产生的尾气会污染空气，该尾气处理的方法是。
5. （3） 步骤③中发生反应的化学方程式为。
7. （4） 步骤②、③都需要注意防潮，可能的原因是          (填字母序号)。

   A . 硅能与水蒸气反应 B . 氢气能与水蒸气反应 C . SiCl₄能与水蒸气反应 D . 氯化氢能与水蒸气反应