1. (2017九上·义乌月考) 硅（Si）是太阳能电池和电脑芯片不可缺少的材料。利用石英砂（主要成分为SiO₂）生产高纯硅（Si）的流程图如下（整个制备过程必须达到无水、无氧气）。据图回答下列问题。（提示：Si+3HCl===SiHCl₃+H₂↑）

1. （1） 三氯硅烷（SiHCl₃）是由种元素组成的物质。
3. （2） 在H₂和SiHCl₃反应的过程中若混入O₂ ， 可能引起的后果是。
5. （3） 以上生产高纯硅的流程中，可循环使用的物质是。